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Title:
Micromecanizado mediante láseres de femtosegundos de cerámicas LTCC. Fabricación de microcalentadores para un sensor de monóxido de carbono
Source:
Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio
Authors:
Gómez, David | Goenaga, Igor | Johander, Per | Moldovan, Carmen | Dep. Micro Nanotecnologías, Fundación Tekniker, Eibar (Guipúzcoa), España | IVF Industrial Research Development Corporation, Molndal, Suecia | National Inst. R&D Microtechnologies, Bucarest, Rumanía
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